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SS-60

善时仪器公司的扫描电镜上市啦!经过团队几年的艰苦努力,善时仪器公司终于推出了首款台式电子显微镜,SS-60系列。此系列电子显微镜配置中等,在电子显微镜的大家庭里面也许是不显眼的,但我们主要着眼于经济适用,更适合于在国内普通客户群体内做普及性推广。

  对于此系列的小型SEM,我们自行设计制造了电子枪系统、光学系统,电子控制系统,真空组件,软件等等,我们尽可能自己制造了除真空泵和电子元器件外的全部部件,所有倾注的心血主要是为产品下一步的技术升级做到尽可能多的技术储备。

  作为国内一个自主研发的仪器公司,我们投入了大部分精力在做扫描电子显微镜的项目,我们目的很明确,就是要尽可能做到在同等技术级别的平台下不落后国际上的前辈产品。我们还会像能谱仪(ED-XRF)一样,一步一个脚印的为国内厂家、大学和研发机构等做好每一台产品。希望我们的产品能够为我们中国日益蓬勃的研发工作做出微薄之力。

产品说明:


1)最大放大倍率6万倍(Magnification Max 60,000x

2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector

35KV~30KV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:5kV to 30KvHigh image resolution

4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis

5)冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)

6)高/低真空配置缩短前处理过程(High&Low Vacuum System

7CCD摄像头的安装可对载物台内部观察(The CCD camera is mounted to view the inside of the stage

8Tilt0~45)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional)

技术参数:

分辨率

 

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30x~60,000x 

加速电压

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5 step)

图像检测

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

观察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统

灯丝类型

预对中钨灯丝

偏压系统

自动偏压方式

电子枪校正

手动方式

透镜构成

聚光镜

2段式磁线圈透镜

物镜

1段式磁线圈透镜

探测器类型

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统

 自动或者手动

载物台移动

3轴操控

图像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150um)

样品最大尺寸

高度30mm时最大直径70mm

图像扫描

快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节

图像存储格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示

放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,Logo(Text)Date and timeText marker,比例尺等

真空系统

 全自动型/高真空模式+低真空模式

(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min

(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空时间:2分钟以内

操控系统

 鼠标和键盘

PC:台式电脑(Desk Top      

OS : Microsoft Windows 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB 2.0

软件

 图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数

初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等

体积

设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

重量

 105kg

设备环境

 

 温度:15~30
 
湿度:70% or less

 电源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz



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